7.CMP拋光用陶瓷載盤
我司可提各種規(guī)格的供用于化學(xué)機械拋光用的陶瓷載盤。 該載盤可以用于拋光3, 4, 5, 6英寸的晶圓。并且有著較好的平坦度的平行度，材料結(jié)合精密且有著均一的微觀結(jié)構(gòu)。
特性：
熱傳導(dǎo)性好
平坦度高且無變形
無空洞，劃痕和裂紋
直徑 | 平坦度 |
D410mm | 2μm |
D360mm | 2μm |
D305mm | 2μm |
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